Auteur: Emmanuel Bigler
Date: 15-07-2008 12:29
Bonjour Robert
La tournette ou centrifugeuse pour l'enduction de résines sur plaque de verre, c'est l'instrument de base de la photolithographie pour les procédés dérivés de la micro électronique.
Comme le dit Phylippe Ayral, sur le site de l'atelier helio'g on pouvait voir une grande tournette, je n'ai pas retrouvé cette image dans le nouveau site.
http://heliog.blogspot.com/
à défaut de celle de chez Helio'g, sur cette image prise dans la salle de TP microtechniques de l'ENSMM de Besançon on peut voir à l'extrême gauche la tournette capot ouvert. L'opérateur en gants blancs ne vient pas de manipuler un Leica série limitée, non, cela ne fait pas encore partie de nos travaux pratiques de futurs ingénieurs en microtechnique, non, plus modestement, l'opérateur vient de retirer une plaque de silicium fraîchement enduite de résine, prête à cuire sur la plaque chauffante Schott.
http://www.cijoint.fr/cjlink.php?file=cj200807/cijVnYzRuH.jpg
Le diamètre de plaque qu'on peut enduire sur cette petite tournette est de l'ordre de 100mm. Pour tenir la plaque il y un système à aspiration avec joint tournant, mais le plus simple est un plateau avec des picots sur le bord qui empêche simplement la plaque de s'envoler. On fait ainsi des enductions double face sans problème.
Les vitesses de rotation typiques pour els couches micens en micro électronique sont 3000 tours/minute pendant 30 secondes, le film déposé est de l'ordre de quelques microns suivant la viscosité de la résine ; les tournettes pour héliogravure sont plus grosses, tournent plus lentement et fabriquent des couches plus épaisses mais le principe est le même.
Avec notre petite tournette et des résines photosensibles de type époxy épaisses en tournant à 500 tours/minute on fabrique des couches de 50 microns à 100 microns en une seule fois.
On se rapproche de ce que le photographe demande !
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