Auteur: Emmanuel Bigler
Date: 26-06-2007 09:49
La question de bien prévoir l'orientation (symétrie droite-gauche) et la polarité (négatif ou positif) c'est un truc qui n'a l'air de rien, et que j'enseigne dans mon cours de microtechnique, quand je parle des photomasques et des choix à faire en fonction de l'objet final à fabriquer. Parce que les étourdis il y en a même à bac+5 chez nos brillants élèves ingénieurs, et dans l'industrie, j'vous dis pas, c'est tabou d'en parler parce qu'une semaine d'ingénieur perdue pour çà.. en général on ne le dit pas trop fort.
Le nombre de fois que les étudiants-doctorants de nos laboratoires, à qui on donne libre accès à notre centrale de fabrication de masques, reviennent penauds parce qu'ils ont commis, pour parodier le mot célèbre du physicien Dirac » un nombre impair d'erreurs d'orientations droite-gauche »....
Heureusement pour remettre d'aplomb nous avons une machine à copier les masques par contact sous vide, en photomasques chrome sur verre la perte est infime (on préserve une résolution de l'ordre du micron sans problème), on peut même envisager de faire une « copie de copie » pour ne travailler que sur un contretype de même symétrie en préservant l'original.
Bien entendu en arts graphiques analogiques (comment avais-je pu l'oublier ! merci, Henri ! ), on procède de la même façon en jouant sur toute la palette des contretypages possibles, l'idéal étant le contretype par contact sous vide, comme pour les photomasques.
Mais en microtechnique comme un utilise en général des résines positives (il y a tout de même des résines négatives, en particulier les époxy épaisses), donc le plus souvent un transfert positif-positif, s'il y a une erreur initiale sur le choix de polarité positif/négatif, il faut retourner devant l'ordinateur et refaire une partie boulot de conception... au prix de l'heure d'ingénieur dans la vraie vie, çà fait cher.
Donc tout çà pour dire que bien penser à son enchaînement d'inversions de symétrie et à son choix de polarité nég/pos pour un procédé donné, c'est un truc très professionnel !
C'est pas un truc de débutant dont on rigole ;-)
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