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De: E. Bigler
Date: 18 Mar 2002
Time: 12:16:53
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Avec la meilleure volonté il m'est difficile de dire sans connaître les spécifications de l'optique si les 4000 ou 8000 ppp sont crédibles ou pas car le problème du raccordement de champs est un problème de micro-mécanique et de commande automatisée avec asservissement de position. Les tables à micro-déplacements sont des objets courants en optique et microscopie. Donc la crédibilité des 8000ppp au niveu du film, cela dépend du champ couvert en une seule fois par l'optique. Mais quel que soit le champ couvert, la limite de diffraction est indépendante du champ et ne dépend que de l'ouverture numérique effective. On peut l'exprimer comme en microscopie, en pixels ou pl/mm ramenés sur l'objet, ou ce qui est équivalent en pixels agrandis ou pl/mm agrandies ou niveau du détecteur. Il n'est pas nécessaire d'avoir une optique zoom pour autoriser une variation de champ total de 24x36mm au A4, à partir du moment où on acepte des raccordements de champs.
Ce problème de raccordement de champs de très haute précision en "écriture d'image" est à la base de la performance impressionnante des générateurs de masques (pour photo-lithographie) par faisceaux d'électrons où le "pixel" peut faire 0,05 micron, mais où on va peut-être demander 150x150mm d'image totale. Impossible sans combiner un déplacement fin par lentilles électromagnétiques et un balayage mécanique grand champ.
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